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廣州杰控自動化設備有限公司
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RF射頻電源維修

RF射頻電源維修

4500.00
4000.00
  

一、射頻電源維修簡介

我公司專業維修磁控濺射電源、RF射頻電源、真空鍍膜電源、MF中頻電源、美國鍍膜電源、德國ROF射頻電源等,公司擁有多名在工業電源維修方面經驗豐富的工程師并配有的齊全的維檢設備,還搭建了配套測試平臺,修復時間短,成功率高,備件充足且

有快捷的電子配件進貨渠道,大大縮短了維修時間,為客戶羸得寶貴的時間。服務周到、價格實在。










三、部分維修型號

AE電源系統:
AE電鍍電源、AE射頻電源 RFG:RFG 80、RFG 1250、RFG 1250 HALO、RFG 1251、RFG 3000、RFG 3001、RFG 5500、RFG 2K-2VRFDS 1250、RFDS 1250-A、RFDS 3000、RFDS 2Kw-2KV
APEX:Apex 1513、Apex 2027、Apex 3013、Apex 4027、Apex 5513、Apex 7kW/13、Apex 10kW/13、Apex 3513、Apex 10013、Apex 8013
Atlas 2、Atlas 1513、Atlas 3013、Atlas 2504、Atlas 2027、Atlas 2012、Atlas 4012、Atlas 5002、Atlas 5012、Atlas 5013、Atlas 5027、Rapid F
RFX:RFX 600、RFX 600A、RFX 1250、RFX 2500、RFX 5500、RFG-AZX
RFX II:RFX II 1250、RFX II 3000、RFX II 5500
HFG:HFG 2500、HFG 5000、HFG 4M
HFV:HFV-3K、HFV-5K、HFV-8K、HFV-L 3KW
Ovation VHF:VHF-2760W、VHF-2060、VHF-2560、VHF-35162
ICP Generator:ICP-1KW、ICP-1.5KW、ICP-1.6KW、ICP-2KW
Dressler HPG:HPG 03300、HPG 13150、HPG 13300、HPG 27300
Dressler Cesar: Cesar 0210、Cesar 0220
美國COMDEL射頻電源:
應用對象包括:刻蝕、RIE、PECVD、ICP、射頻濺射、CVD和PVD等系統,也可作為工廠業系統中感應加熱和電介質加熱設備的電源
CLX系列低頻電源、CLF系列低頻電源、CX系列高頻電源、CX5K和CX10K高頻射頻功率源、CXH系列高功率/高頻電源、CPS系列高頻電源、CB系列高頻射頻電源、CV系列甚頻(VHF)電源、CDX系列雙頻電源、XDC1000直流電源、MATCH自動調諧網絡、ESC系列靜電夾盤電源CDX 1000 - P/N FP5201R1/CDX 2000 - P/N FP5315RF/CDX 2000 - P/N FP5318R2/CDX 2000 - P/N FP5319R2/CDX 2000 - P/N FP5320R3/CLF 500 - P/N FP1254R2/CLF 1000 - P/N FP1252R2/CLF 5000 - P/N FP1541RC/CLX 600 - P/N FP1245R1/CLX 2500 - P/N FP1333R2/CLX 2500 - P/N FP1335R2/CLX 2500 - P/N FP1335R4/CLX 2500 - P/N FP1336R3/CPS 500 - P/N FP0112RF/CPS 500AS - P/N FP0113RK/CPS 1000 - P/N FP0213RK/CPS 1001 - P/N FP0213RJ/CX 650 - P/N FP3116R3/CX1250S - P/N FP3212RB/CX 1250S - P/N FP3212RC/AGA-27 60Mhz 2,7kW - P/N/AGA-27A3/ENI / MKS/DPGS-10 - DC / RF Generator - P/N DPGS-10-04/DPGS-10 - DC / RF Generator - P/N DPGS-10-05/DPGD-10 - DC /RF Generator - P/N DPGD-10-04/DPGD-10 - DC /RF Generator - P/N DPGD-10-05
美國SEREN(賽恩)電源:
R系列射頻電源:R301-13、R601-13、R1001-13、R1001/1.2、R2001-13、R5001-13、R5001-13、R10,001-13、R15,001-13、R20,001-13 HR系列射頻電源:HR601HRL10011001、HR1501、HR2001-AC、HR2001、HR3001、HR5001 L系列低頻電源:L301、L601、L1001、L2001、L3001、L5001I系列射頻電源:專用于ICP領域

AT系列自動匹配器:AT-3、AT-6/100、AT-6/500、AT-10、AT-20、AT-30、AT-50/120、AT-50/140、AT-100/160、AT150/180、AT-250/250

德國鍍膜電源:
PFG300-RF、PFG600-RF、PFG1000-RF、PFG1600-RF、PFG2500-RF、PFG5000-RF





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